特殊ガス配管で使用する特殊ガスとは?
工場など何かを作り出す施設では、特殊ガス配管という配管を製造・設置することが多く、株式会社テックプランでは、特殊ガス配管の工事にも多く携わっています。
特殊ガス配管というと、何か危険なものが配管を通るのでは?というイメージを持ってしまいがちですが、果たして特殊ガスとはどういうものだろうかと気になりますよね。
特殊ガス配管で使用する特殊ガスとは、大きく標準ガス、高純度ガス、半導体材料ガスという3つの種類に分けられています。
標準ガスは、ガスの分析機器のゼロ点指示を構成する場合などに用いられる高純度標準物質ガスと言われるものと、自動車の排気測定用などとして構成各成分の濃度を調整し、数種類のガスを混合して作られる混合ガス、別名、組成標準物質と言われるものの2種類があります。
高純度ガスは、分析機器の構成や半導体材料キャリアガスとしてヘリウムや水素、窒素、アルゴンなどを使用して作られるガスのことを言い、不純物をできるだけ少なくして作られているガスのことを言います。
半導体材料ガスは、半導体を製造する工程で使用するガスのことを言い、種類がとても多く30種類以上あるとも言われています。自然界に存在しないガスがあるのも大きな特徴と言えます。
このようなガスのことを特殊ガスと呼び、様々なものを作り出すために重要な役割を持っているガスです。
2021.10.20